CMOS제조공정

반도체 CMOS 공정을 구성하는 장비 기술 및소자분리-소자형성-소자배선-소자완성의 형성 흐름을 학습할 수 있다.

본 어플리케이션은 한국기술교육대학교

가상훈련 콘텐츠 “CMOS 제조공정” 과정의

스마트패드 전용 버전 어플리케이션으로,

누구나 무료로 다운로드하여 이용하실 수 있습니다.

[구성메뉴]

- CMOS 공정개요 :

MOSFET 동작원리 및 이론을 학습할 수 있다.

- CMOS 공정기술 :

반도체 CMOS 제조 공정을 위한 주요 공정 및 장비 기술을 학습할 수 있다.

- 소자 분리 :

마스크-분리층-트렌츠 형성(패턴/식각)-STI 형성-NWELLㆍPWELL 이온 주입 흐름을 학습할 수 있다.

- 소자 형성 :

게이트(패턴/식각형성)-LDD 형성-NMOSㆍPMOS S/D 형성 흐름을 학습할 수 있다.

- 소자 배선 :

컨택 형성(박막/패턴/패턴식각/금속채우기/평탄화)-금속 배선 막 형성-비아 배선 막 형성 흐름을 학습할 수 있다.

- 소자 완성 :

배선층 적층 흐름을 학습할 수 있다.